Entwicklung einer spektral adaptiven, faserbasierten Alignement-Lichtquelle

Entwicklung einer faserbasierten Lichtquelle mit wählbarer Emissionswellenlänge für die Alignmentprozedur in der Halbleiterindustrie. In Abgrenzung zu dem vorhandenem HeNe-Alignmenttool mit 30 mW Ausgangsleistung und einer definierten Wellenlänge von 633 nm sollen Laserdioden unterschiedlicher Wellenlänge und Leistungen um 100 mW über breitbandige wellenlängenselektive Koppler zusammengeführt werden. Das zu verwendende Koppelverfahren und die anschließende Kollimationsoptiken sind in dem Projekt ebenso zu untersuchen und zu evaluieren, wie die Strahlparameter der Lichtquellen und das Schalt- und Transmissionsverhalten der Faserelemente. Die spezifischen Wellenlängen sollen der Anpassung an die Gegebenheiten des Prozessmaterials bzw. etwaig aufgebrachter Schichten und deren optischen Eigenschaften dienen. Mittels zu implementierender Feedbackschnittstellen und der peltierelement-basierter aktiver Temperaturregelung soll eine langzeitstabile Steuerung ermöglicht werden. Ein zu entwickelndes Benutzerinterface soll der Wahl der Wellenlänge dienen.