Winged Cantilever (WiCan)

Entwicklung eines Fertigungsprozesses zur Herstellung von AFM-Cantilevern für high-speed-Anwendungen auf der Basis von polymeren Materialien

Projektlaufzeit:

06/2015 - 05/2017

Projektleitung (Organisationseinheit):

Prof. Dr. Jürgen Grimm (Fakultät Elektrotechnik)

Projekttyp:

WHZ-Forschungsprojekt

Kontakt:

Prof. Dr. Jürgen Grimm

+49 (375) 536 1434
juergen.grimmfh-zwickaude

Fördermittelgeber:

BMWi