AlN und a-C:H-Beschichtungen von frei tragenden Si3N4-Membranen für Röntgen-Optiken

Projektlaufzeit:

08/2012 - 10/2012

Projektleitung (Organisationseinheit):

Prof. Dr. Ullrich Reinhold (Fakultät Physikalische Technik/Informatik)

Auftraggeber:

IFG Institute for Scientiftc Instruments GmbH, Berlin

Projekttyp:

WHZ-Forschungsprojekt

Kontakt:

Prof. Dr. Ullrich Reinhold

+49 (375) 536 1508
ullrich.reinholdfh-zwickaude