AlN und a-C:H-Beschichtungen von frei tragenden Si3N4-Membranen für Röntgen-Optiken
08/2012 - 10/2012
Prof. Dr. Ullrich Reinhold (Fakultät Physikalische Technik/Informatik)
IFG Institute for Scientiftc Instruments GmbH, Berlin
WHZ-Forschungsprojekt
Prof. Dr. Ullrich Reinhold
+49 (375) 536 1508
ullrich.reinholdfh-zwickaude