Forschung zur quasi-in-situ-Adaption eines Sensorsystems zur Charakterisierung der Wellenfront in einem Waferbelichter basierend auf einem Hartmann-Shack-Sensorsystems
11/2013 - 10/2014
Prof. Dr. Peter Hartmann (Fakultät Physikalische Technik/Informatik)
Infineon
WHZ-Forschungsprojekt
Prof. Dr. Peter Hartmann
+49 (375) 536 1538
peter.hartmannfh-zwickaude