Forschung zur quasi-in-situ-Adaption eines Sensorsystems zur Charakterisierung der Wellenfront in einem Waferbelichter basierend auf einem Hartmann-Shack-Sensorsystems

Projektlaufzeit:

11/2013 - 10/2014

Projektleitung (Organisationseinheit):

Prof. Dr. Peter Hartmann (Fakultät Physikalische Technik/Informatik)

Auftraggeber:

Infineon

Projekttyp:

WHZ-Forschungsprojekt

Kontakt:

Prof. Dr. Peter Hartmann

+49 (375) 536 1538
peter.hartmannfh-zwickaude