ALD-Innenbeschichtungen für Röntgenoptiken

ALD-Beschichtungsprozess

Projektlaufzeit:

05/2011 - 12/2013

Projektleitung (Organisationseinheit):

Prof. Dr. Hans-Dieter Schnabel (Fakultät Physikalische Technik/Informatik)

Projekttyp:

WHZ-Forschungsprojekt

Kontakt:

Prof. Dr. Hans-Dieter Schnabel

+49 (375) 536 1530
hans.dieter.schnabelfh-zwickaude

Fördermittelgeber:

SMWK