EFFSIL300 - Effiziente und sichere Leistungstransistoren auf Basis von 300 mm Wafern

Holographische Lithographie und optische Messtechnik

Projektlaufzeit:

04/2017 - 09/2020

Projektleitung (Organisationseinheit):

Prof. Dr. Peter Hartmann (Fakultät Physikalische Technik/Informatik)

Projekttyp:

Forschungsprojekt der Westsächsischen Hochschule Zwickau

Kontakt:

Prof. Dr. Peter Hartmann

+49 (375) 536 1538
peter.hartmannfh-zwickaude

Fördermittelgeber:

EU + SMWA