AlN und a-C:H-Beschichtungen von frei tragenden Si3N4-Membranen für Röntgen-Optiken

Projektlaufzeit:

08/2012 - 10/2012

Projektleitung (Fakultät):

Herr Prof. Dr. Ullrich Reinhold (Physikalische Technik/Informatik)

Auftraggeber:

IFG Institute for Scientiftc Instruments GmbH, Berlin

Kontakt:

Herr Prof. Dr. Ullrich Reinhold

+49 (375) 536 1508
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