Dispersionsgesteuertes, interferometrisches Messverfahren zur in-line Charakterisierung von Wafertopografien (eRamp)

Projektlaufzeit:

04/2014 - 03/2017

Projektleitung (Fakultät):

Herr Prof. Dr. Peter Hartmann (Physikalische Technik/Informatik)

Kontakt:

Herr Prof. Dr. Peter Hartmann

+49 (375) 536 1538
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Fördermittelgeber:

BMBF