Forschung zur quasi-in-situ-Adaption eines Sensorsystems zur Charakterisierung der Wellenfront in einem Waferbelichter basierend auf einem Hartmann-Shack-Sensorsystems

Projektlaufzeit:

11/2013 - 10/2014

Projektleitung (Fakultät):

Herr Prof. Dr. Peter Hartmann (Physikalische Technik/Informatik)

Auftraggeber:

Infineon

Kontakt:

Herr Prof. Dr. Peter Hartmann

+49 (375) 536 1538
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